飞秒激光刻蚀
飞秒激光器是超短脉冲激光器（1 fs = 10⁻¹⁵秒），具有极高的峰值功率和能量密度。

它们可以直接电离材料而无需重新熔炼层，最大限度地减少蚀刻过程中的热影响，实现超高工艺质量。

表面结构的关键功能
• 减少摩擦/润滑油滞留
• 光学应用中的衍射结构
• 微模加工（光导板、注塑模具、垫印版等）
• 定制表面粗糙度
• 疏水/亲水性质
• 精确标记

飞秒激光蚀刻的优势

• 高精度与一致性：处理微小特征，仅10微米或更小，深度误差控制在微米级
• 出色的侧壁垂直性：即使在1：1的纵横比下，优化的能量分布和扫描路径也能保持最小的锥度
• 平底质量：先进的扫描策略确保能量均匀，避免底部不规则
• 表面精细：无坑洞或毛刺，Ra≤0.2微米，保证结构完整性和强度
• 高度可控性：精确控制微观结构的几何形状和排列